Des stations de mesure sous pointes conçues pour la précision, la répétabilité et l’adaptabilité.
EXOCIS vous accompagne dans la sélection, la configuration et l’intégration des stations MPI – leader mondial des systèmes de probing pour wafers jusqu’à 300 mm.
Disponibles en versions manuelles, semi-automatiques ou automatisées, ces plateformes sont complétées par tous les accessoires nécessaires : micropositionneurs, chucks thermiques, caméras, microscopes, pointes RF et DC.
TS2000-SE – Station semi-automatique blindée
Conçue pour des mesures DC/RF faiblement bruitées, cette station intègre le MPI ShielDEnvironment™, un environnement blindé optique et électromagnétique garantissant une précision extrême (<1 µm de répétabilité).
- Wafer jusqu’à 200 mm
- Blindage EMI (≥ 30 dB) & lumière (≥ 130 dB)
- Automatisation frontale wafer avec pré-alignement
- Isolation vibration intégrée, simplicité logicielle SENTIO®
TS2000‑IFE – Température extrême & compatibilité THz
Cette plateforme supporte des plages thermiques de –60 °C à +300 °C avec stabilité, ainsi que le module THZ-Selection pour des tests jusqu’à 220 GHz.
- Contrôle environnemental sécurisé et sans condensation
- Précision de positionnement <1 µm, programmabilité jusqu’à ±5°~𝜃
- Module THZ-Selection pour mmWave / THz : extendeurs intégrés en mouvement sur 200 mm pour proximité maximale DUT/extendeur
- Autocalibration, huis clos optique, pilotage tactile SENTIO/MDrive
TS2000‑HP – Haute puissance & sécurité opérateur
La station TS2000‑HP est conçue pour les tests extrêmes sur composants de puissance. Elle intègre des dispositifs de sécurité renforcés pour l’opérateur, une interface logicielle intuitive et un chuck compatible wafers fins.
- Haute tension : jusqu’à 3 kV tri-axial, 10 kV coaxial
- Courant pulsé : jusqu’à 600 A
- Chuck plaqué or, vacuum optimisé pour wafers fragiles
- Sécurité opérateur : rideau lumineux, interlock, gestion thermique STM
- Idéale pour le test de transistors de puissance (GaN, LDMOS, etc.)
TS600 – Station manuelle de probing pour PCB RF
La station TS600 est conçue pour le test précis de circuits imprimés RF de grande taille, jusqu’à 305 x 430 mm (12” x 17”).
Son bras XY motorisable et son chuck libre d’accès permettent un probing souple, idéal pour la validation de modules, le debug ou le tuning RF.
- Format max PCB : 12” x 17” (305 x 430 mm)
- Mouvement XY précis avec option motorisée
- Compatible DC, RF et signaux mixtes jusqu’à 50 GHz
- Idéale pour le debug, le test de performance ou la validation pré-série
- Station manuelle compacte et évolutive
Applications typiques couvertes par la gamme TS2000
- Modélisation RF et DC jusqu’à 220 GHz
- Analyse de panne & validation de design
- Fiabilité wafer / WLR
- Test de composants de puissance (jusqu’à 3 kV / 600 A)
- Caractérisation de MEMS et dispositifs sensibles
Chaque station de la série TS2000 peut être configurée selon votre environnement (blindage CEM, haute température, courant fort…), pour s’adapter à votre cas d’usage.
